干式真空泵又被稱為干式機(jī)械泵，指的是泵能從大氣的壓力下抽氣，又能夠?qū)⒈怀榈臍怏w直接的排到大氣中去，泵腔內(nèi)無(wú)油或者其他的工作介質(zhì)。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用比較的廣泛。主要有以下的幾個(gè)方面：

　　1、干式真空泵可以應(yīng)用在低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備的工藝之中；
　　2、該設(shè)備可以應(yīng)用在半導(dǎo)體刻蝕的工藝上。在這些生產(chǎn)工藝之中往往可能會(huì)用到或者生成腐蝕性的氣體以及研磨微粒；
　　3、該設(shè)備可以用在除半導(dǎo)體工藝之外的某些產(chǎn)生微粒的工藝上，如果不希望微?；烊氡糜椭校軐⑽⒘Ｅ懦霰弥?，那么使用一定型式的干式機(jī)械真空泵就可以滿足該要求；
　　4、干式真空泵還可以用在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)以及食品工業(yè)中的蒸餾、干燥和脫泡以及包裝等方面，如果想要防止有機(jī)溶劑造成的污染，那么比較適合使用干式真空泵；
　　5、該設(shè)備還能夠用做一般無(wú)油清潔的真空系統(tǒng)其前級(jí)泵，以防止油的污染。
　　以上為干式真空泵的應(yīng)用范圍，該設(shè)備因其良好的工作性質(zhì)被廣泛的應(yīng)用在了各個(gè)領(lǐng)域。